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更新时间：2024-06-21简要描述：采用ACM 600 共焦显微镜可对物体的表面和结构进行非接触式的测量，评估和显示。装配不同的显微物镜，测量视场大小和精度也不同。视场的扩展可通过钉合的方式来实现
采用ACM 600 共焦显微镜可对物体的表面和结构进行非接触式的测量，评估和显示。装配不同的显微物镜，测量视场大小和精度也不同。视场的扩展可通过钉合的方式来实现。
ACM 600 使用特殊的微透镜扫描盘，使采集的单个测量点相互平行。ACM 600目前是*商业化的采用微透镜扫描盘的仪器。与尼普科夫扫描盘相比，微透镜扫描盘使光学系统反应快速，所以即使暗淡的表面也能够获得良好的测量结果。它的另外的*之处在于采用了LED作为光源，避免了使测量头发热，因而它的寿命几乎可以视为无限长。仪器配备了物镜切换盘，可以快速转换物镜。
检测物件的设定和测量全过程可以通过一个独立的监视器观察。测量软件基于Windows XP操作系统编制，并提供所有标准的评估程序。
仪器结构紧凑，耐用，特别适用于工业用途。在微透镜扫描盘自动伸出后，仪器可作为普通的显微物镜使用。
| 共焦显微镜头 标准规格配置50x/0.8物镜 带有微透镜扫描盘的扫描共焦传感器 | |
| 光源 | LED |
| 寿命 h | > 50,000 |
| 采用步进电机时的测量范围mm | 50 |
| 采用压电执行器件时的测量范围µm | 100/150 |
| zui高垂直分辨率 nm | 5 |
| zui高横向分辨率µm | 1 |
| 工作距离mm | 0.66 |
| 视场µm | 370 x 280 |
| 256个高度台阶的测量时间s | 约 30 |
| 重量kg | 约12 |
| 测量工作台 | |
| X、Y、Z每轴位移mm | 50 |
| zui小步距µm | 1 |
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